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這項量測技術可以用來檢測薄膜的厚度以及表面粗糙度。它的原理是利用一個精密探針輕觸樣品表面，並保持一個固定的壓力。

當探針在表面移動時，若遇到凹凸不平或厚度變化，探針就會自動往上或往下移動來維持壓力不變。這些上下移動的數據經過計算後，就可以繪出樣品的表面輪廓圖，進而得知表面的粗糙程度與膜厚資訊。

References：KEYENCE