/ 直流磁控濺鍍 /

 

直流磁控濺鍍是一種改良版的直流濺鍍技術,基本原理相同,但在靶材表面加裝磁場。磁場能將產生的電子限制在靶材附近,讓電子沿螺旋軌跡移動,增加電子與氣體離子的碰撞機會,進而提升高能離子撞擊靶材的頻率。

優點 :

  • 鍍膜效率顯著提高

缺點:

  • 靶材耗損速度加快

 

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