Alpha-Step

可量測薄膜厚度、表面輪廓粗糙。其原理為探針接觸至待測樣品後產生一壓力；回饋壓力計算後，為維持固定壓力，當經過不同表面形貌(高低)時，產生壓力不同，探針便會Z軸方向移動，以維持固定壓力，回饋計算後便得知表面輪廓形貌。

References:KEYENCE