電漿聚合 

是一種與過去傳統高分子聚合薄膜方式不同的一種聚合法；它的特徵在於分子結構與一般聚合的產物不同，且一般聚合無法利用的單體也能夠作為反應物；而產生的高分子聚合物可具有高度的交叉連接性，故有化學惰性、良好絕緣效果、即高耐熱等特性，沒有缺陷結構。電漿聚合，是以加高電壓游離氣體後產生的電漿，撞擊通入之高分子單體，部分鍵被打斷產生部分自由基、於高分子單體間再次產生聚合反應；最終，聚合物與高分子單體沉積於基板(待鍍物)上。

影響電漿聚合最終產物的原因有很多；例如通入之高分子單體比例，會造成聚合產物是以原高分子單體為主、或是以被打斷部分鍵產生具有自由基分子單體為主的聚合產物；且可以後處理通入反應物，與產生之空自由基進一步反應產生期望之高分子聚合物。